扫描电子显微镜简介

曹寅 于廼征

一九三二年诺尔和腊斯卡等人,首次发表了关于电子显微镜的实验和理论研究的文章。因此,人们通常把这一年作为电子显微镜的诞生年。在电子显微镜的基础上进一步发展了电子探针,即在电子显微镜下挑选出所要测定的颗粒、矿物或微区,然后用高聚焦的电子束照射,半定量地测量其元素含量,在测定过程中,样品不遭受破坏。除了能测导电性矿物外,还可测定非导电性矿物。高聚焦的电子束最小直径已达1微米。电子探针再进一步的发展是扫描电子显微镜。

https://doi.org/10.11781/sysydz197802017